超臨界干燥旨在通過壓力和溫度控制在干燥過程中達到溶劑的臨界點，形成了超臨界流體。 超臨界狀態的溶劑沒有明顯的表面張力，在干燥過程中可以避免材料中的收縮和破碎，從而保持材料的原始結構和狀態，防止初級納米顆粒的聚集和凝結，以及制備高表面材料，例如納米材料和氣凝膠材料。

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