超臨界干燥設備使用的器具為高壓釜，高壓釜的密閉性要求高。通常超臨界干燥工藝需要的實驗周期相對較長、產量較低、成本較高，用來制備要求較嚴格的產品。其基本原理是：在超臨界狀態下，氣體和液體之間不再有界面存在，而是成為介于氣體和液體之間的一種均勻的流體。這種流體逐漸從凝膠中排出，由于不存在氣/液界面，也就不存在毛細管力，因此不會引起凝膠體的收縮和結構的破壞，直至全部流體都從凝膠中排出，得到充滿氣體的，具有納米孔結構的材料。

由于凝膠骨架內部的溶劑存在表面張力，在普通的干燥條件下會造成骨架的坍縮。超臨界干燥在通過壓力和溫度的控制，使溶劑在干燥過程中達到其本身的臨界點，完成液相至超臨界流體轉變。過程中溶劑無明顯表面張力，在維持骨架結構的前提下完成濕凝膠向氣凝膠的轉變。

超臨界干燥設備是開原化工機械制造有限公司的主要產品，公司具有A1、A2級壓力容器設計許可證和制造許可證及ISO9001質量體系認證證書，是生產非標壓力容器的專業廠家。公司擁有自有知識產權，其中國家發明專利1項，適用新型專利12項。同時，公司主要產品還有超臨界發泡設備、超臨界流體設備、反應釜、多晶硅設備換熱器、壓力容器、高壓儲罐、造紙設備、等壓設備、高壓水密裝置，高壓換熱器和低溫設備產品等。